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今井 剛; 坂本 慶司
EMC: electro magnetic compatibility: solution technology: 電磁環境工学情報, (127), p.27 - 34, 1998/11
ミリ波帯の大電力の発振管であるジャイロトロンについて、原研における最近の研究開発の成果を中心に、原理、開発経緯と現状、応用と今後の展望について述べる。特に、原研が世界に先駆けて技術開発に成功したエネルギー回収による高効率化と人工ダイヤモンド窓による高出力化の成果について報告する。
河西 俊一
EMC: electro magnetic compatibility: solution technology: 電磁環境工学情報, 0(90), p.24 - 29, 1995/10
エキシマレーザーの特徴を利用することによって、従来では困難であった高分子の表面改質などのプロセッシングが容易にかつ高度に行われるようになる。本解説では、リソグラフィへの応用の期待から多くの研究が行われたレーザーアブレーションについてこれまでの研究と最近の真空紫外レーザーや極短パルスレーザーによる研究例を紹介した。また、大阪支所の研究成果を中心にフッ素樹脂の表面改質へのレーザーの応用について解説した。
河西 俊一
EMC: electro magnetic compatibility: solution technology: 電磁環境工学情報, 0(78), p.27 - 30, 1994/10
レーザーの化学利用研究の一環として、大阪支所で進めたフッ素樹脂の表面改質について解説した。まず、代表的なフッ素樹脂であるPTFEの接着性改善については、光吸収剤として芳香族系高分子を1~20%添加したPTFEにKrFエキシマレーザー光を照射することによって、接着性を改善することができた。本法で得られた改質効果は、従来法である薬品処理などに比べて、効果が高い、微細な加工が可能であるなどの特長を有している。また、溶融成形が可能なフッ素樹脂であるPFAを水中でArFエキシマレーザー光を照射することにより、親水性を付与することができた。この親水性発現機構および本技術の特徴を検討した。
梨山 勇
EMC: electro magnetic compatibility: solution technology: 電磁環境工学情報, (58), p.70 - 75, 1993/02
人工衛生や宇宙開発の信頼性はそこで使用する半導体部品の宇宙放射線による劣化や誤動作に左右されることが多い。半導体素子に対する宇宙放射線の効果は、トータルドーズ効果とシングルイベント効果に分けられる。MOS構造に対するトータルドーズ耐性の向上は酸化プロセスの低温化や酸化膜厚の低減などによって大巾に改善できようになった。これに対し、シングルイベント効果は耐性の評価が困難であるため、その耐性の向上は今後の研究開発課題となっている。日本原子力研究所高崎研究所の放射線高度利用研究施設のサイクロトロンとマイクロイオンビーム装置はこのための強力な手段となる。また、トータルドーズとシングルイベント両面で優れた耐性を期待できる新しい半導体材料としては、低原子番号広バンド巾半導体である炭化ケイ素が有望である。